Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. (2016). Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016.
Citação norma ChicagoКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016, 2016.
Citação norma MLAКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016, 2016.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.