Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. (2016). Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016.
Chicago Style (17th ed.) CitationКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016, 2016.
MLA (9th ed.) CitationКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016, 2016.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.