Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. (2016). Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016, 2016.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство. Долгопрудный, Интеллект, 2016, 2016.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.