|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
317698 |
| 005 |
20231102003012.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\343166
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\342777
|
| 090 |
|
|
|a 317698
|
| 100 |
|
|
|a 20160412d2014 k y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a NL
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 200 |
1 |
|
|a Silicon-on-insulator (SOI) Technology
|b Electronic resource
|e Manufacture and Applications
|f eds. O. Kononchuk, Bich-Yen Nguyen
|
| 203 |
|
|
|a Text
|c electronic
|
| 210 |
|
|
|a Amsterdam
|c Elsevier
|d 2014
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 29 Mb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 333 |
|
|
|a Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 606 |
1 |
|
|a Диэлектрические материалы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\9808
|9 36978
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.61
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Kononchuk
|b O.
|g Oleg
|4 340
|
| 702 |
|
0 |
|a Bich-Yen Nguyen
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131216
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160621
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Silicon-On-Insulator%20(SOI)%20Technology_2014.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
