|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
317200 |
| 005 |
20231102002942.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\342668
|
| 090 |
|
|
|a 317200
|
| 100 |
|
|
|a 20160405d1982 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Полупроводниковые материалы и тонкте пленки на их поверхности
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c Изд-во Воронежского гос. ун-та
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 164 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Структура
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50596
|9 69249
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные явления
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химическая геотехнология
|
| 610 |
1 |
|
|a оксидные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a арсенид галлия
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a халькогенидные системы
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Угай
|b Я. А.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160405
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200113
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
