Ионно-активированная кристаллизация пленок

Ионно-активированная кристаллизация пленок

Бібліографічні деталі
Автор:	Лютович А. С.
Співавтор:	Академия наук Узбекской ССР (АН УзССР) Институт электроники
Інші автори:	Саидов М. С. (редактор)
Мова:	Російська
Опубліковано:	Ташкент, Фан, 1982
Предмети:	Пленки тонкие > Исследование > (твердые тела) кристаллизация осаждение ионные пучки применение ионно-молекулярные кристаллы тонкие слои структурные свойства электрофизические свойства
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=317044

Схожі ресурси

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
за авторством: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Опубліковано: (Новосибирск, 2023)

Механизм образования и субструктура конденсированных пленок
за авторством: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Опубліковано: (Москва, Наука, 1972)

Тонкие пленки и их применение: материалы II республиканской конференции, Вильнюс, 2-4 декабря 1968 г.
Опубліковано: (Вильнюс, [Б. и.], 1969)

Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis
за авторством: Feldman L. C. Leonard
Опубліковано: (New York, North-Holland, 1986)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, 2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, 2017)

Формирование тонких пленок: учебное пособие
за авторством: Кирсанова Т. С. Татьяна Сергеевна
Опубліковано: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; Спец. 01.04.07
за авторством: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Опубліковано: (Нальчик, 2013)

Исследование и применение тонких пленок
за авторством: Борисов А. Н. Андрей Н.
Опубліковано: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2017)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение: монография
Опубліковано: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Thin Films Science and Technology; V. 2 : Size Effects in Thin Films
за авторством: Tellier C. R.
Опубліковано: (Amsterdam, Elsevier Science Publishing Company, Inc., 1982)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2017)

Формирование высокоэнтропийного сплава методами ионно-плазменных технологий; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Опубліковано: (2020)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Опубліковано: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск
за авторством: Булычев А. А.
Опубліковано: (2003)

Кристаллизация и свойства кристаллов и тонких пленок: сборник научных работ
Опубліковано: (Ленинград, Изд-во ЛГПИ, 1977)

Т. 5 : Ионно-пучковая технология; Физические основы лазерной и пучковой технологии
Опубліковано: (1989)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
за авторством: Ли Цзень Фень
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 2006)

Magnetron deposition of TCO films using ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
за авторством: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Опубліковано: (2015)

Нитевидные кристаллы и тонкие пленки. Ч. 2: Тонкие пленки: материалы II Всесоюзной научной конференции, Воронеж, июнь 1974
Опубліковано: (Воронеж, [Б. и.], 1975)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
за авторством: Булычева А. А.
Опубліковано: (2003)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co; Химия и технология полимерных и композиционных материалов
за авторством: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Опубліковано: (2012)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
за авторством: Данилина Т. И.
Опубліковано: (Томск, 1970)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Опубліковано: (Томск, 2010)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
за авторством: Смирнова К. И.
Опубліковано: (Томск, 1971)

Mechanical Properties of Titanium Films Deposited by Pulsed High-Power Ion Beams; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Опубліковано: (2004)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
за авторством: Данилина Т. И.
Опубліковано: (Томск, 1970)

Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов
Опубліковано: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1982)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Опубліковано: (Томск, 2010)

Релятивистские эффекты в электронной и кристаллической структурах поверхностей и тонких пленок металлических систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Коротеев Ю. М. Юрий Михайлович
Опубліковано: (Томск, 2012)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Опубліковано: (Томск, 2010)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
за авторством: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубліковано: (Томск, 1998)

Phase Composition and Mechanical Properties Modification in Cr/Ti System by Short-Pulsed High Intensity Ion Beams Treatment; Applied Mechanics and Materials; Vol. 756 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2014)
Опубліковано: (2015)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Опубліковано: (Москва, Советское радио, 1975)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
за авторством: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Опубліковано: (Томск, 2023)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
за авторством: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубліковано: (Томск, [Б. и.], 1998)

Свойства тонких пленок системы Та2О5-La2O3, полученных золь-гель методом; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 1
за авторством: Лисеенко О. В.
Опубліковано: (2005)

Поверхность кристалла и эпитаксия
за авторством: Абдурагимов Г. А. Гаджи Асланович
Опубліковано: (Ростов-на-Дону, Изд-во Ростовского ун-та, 1987)

Распыление меди импульсным мощным ионным пучком: структура и фазовый состав мишени и пленки; Физика и химия обработки материалов; № 1
Опубліковано: (2001)