|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
317044 |
| 005 |
20231102002932.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-38969
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\342512
|
| 090 |
|
|
|a 317044
|
| 100 |
|
|
|a 20160404d1982 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UZ
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионно-активированная кристаллизация пленок
|f А. С. Лютович
|g Академия наук Узбекской ССР (АН УзССР), Институт электроники ; под ред. М. С. Саидова
|
| 210 |
|
|
|a Ташкент
|c Фан
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 148 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|9 572
|a Библиогр.: с. 143-147
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки тонкие
|x Исследование
|x (твердые тела)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\71990
|9 85637
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-молекулярные кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие слои
|
| 610 |
1 |
|
|a структурные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Лютович
|b А. С.
|4 070
|
| 702 |
|
1 |
|a Саидов
|b М. С.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Узбекской ССР (АН УзССР)
|b Институт электроники
|c (Ташкент)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15428
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160404
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200610
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
