Проблемы микроэлектронной технологии

書目詳細資料
Corporate Authors:	Физико-технологический институт, Академия наук РСФСР
其他作者:	Великов Л. В
語言:	俄语
出版:	Москва, Наука, 1992
叢編:	Труды ФТИАН Т. 4
主題:	электроника микроэлектронные технологии проблемы литография травление полупроводниковые слои металлические слои сверхпроводящие слои
格式:	圖書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=31689

相似書籍