Проблемы микроэлектронной технологии

Xehetasun bibliografikoak
Egile korporatiboa:	Физико-технологический институт, Академия наук РСФСР
Beste egile batzuk:	Великов Л. В
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:	Москва, Наука, 1992
Saila:	Труды ФТИАН Т. 4
Gaiak:	электроника микроэлектронные технологии проблемы литография травление полупроводниковые слои металлические слои сверхпроводящие слои
Formatua:	Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=31689

Antzeko izenburuak