APA (7th ed.) Citation

Физико-технологический институт, Академия наук РСФСР, & Великов Л. В. (1992). Проблемы микроэлектронной технологии. Москва, Наука, 1992.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Физико-технологический институт, Академия наук РСФСР, and Великов Л. В. Проблемы микроэлектронной технологии. Москва, Наука, 1992, 1992.

MLA (9th ed.) Citation

Физико-технологический институт, et al. Проблемы микроэлектронной технологии. Москва, Наука, 1992, 1992.