|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
316870 |
| 005 |
20231102002922.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\342338
|
| 090 |
|
|
|a 316870
|
| 100 |
|
|
|a 20160331d1982 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Оптические методы контроля интегральных микросхем: Состояние и перспективы совершенствования
|f Ю. С. Вартанян [и др.]
|g под ред. Л. Г. Дубицкого
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 136 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|v Вып. 32
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 126-133
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Технический контроль
|x Оптические методы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43841
|9 63282
|
| 610 |
1 |
|
|a оптическая информация
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a готовые изделия
|
| 610 |
1 |
|
|a отбраковка
|
| 610 |
1 |
|
|a микроскопы
|
| 610 |
1 |
|
|a оптическая фильтрация
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматическое распознавание
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 4
|
| 701 |
|
1 |
|a Вартанян
|b Ю. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Розиньков
|b Н. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Дубицкий
|b Л. Г.
|
| 701 |
|
1 |
|a Поддубный
|b Е. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Закс
|b Д. И.
|
| 702 |
|
1 |
|a Дубицкий
|b Л. Г.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160331
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200121
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
