Производство полупроводниковых приборов

Бібліографічні деталі
Автор:	Федоров Л. П. Лель Павлович
Інші автори:	Багров В. М. Виталий Михайлович (редактор), Тихонов Ю. Н. Юрий Николаевич, Петрова Л. А.
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Энергия, 1979
Предмети:	Полупроводниковые приборы > Производство изготовление технологические методы организация производства нормирование технологическая документация технологическая гигиена материалы механическая обработка технохимическая обработка электронно-дырочные структуры эпитаксиальные слои диэлектрические пленки металлические пленки рельефы фотолитография изоляторы контроль испытания
Формат:	MixedMaterials Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=315784

Схожі ресурси