|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
315784 |
| 005 |
20231102002818.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\341221
|
| 090 |
|
|
|a 315784
|
| 100 |
|
|
|a 20160310d1979 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Производство полупроводниковых приборов
|f Л. П. Федоров, В. М. Багров, Ю. Н. Тихонов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 432 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 426-428
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a организация производства
|
| 610 |
1 |
|
|a нормирование
|
| 610 |
1 |
|
|a технологическая документация
|
| 610 |
1 |
|
|a технологическая гигиена
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a механическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a технохимическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-дырочные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a рельефы
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a изоляторы
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a испытания
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Федоров
|b Л. П.
|g Лель Павлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Багров
|b В. М.
|g Виталий Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Тихонов
|b Ю. Н.
|g Юрий Николаевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Петрова
|b Л. А.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160310
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211213
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
