Федоров Л. П. Лель Павлович, Багров В. М. Виталий Михайлович, Тихонов Ю. Н. Юрий Николаевич, & Петрова Л. А. (1979). Производство полупроводниковых приборов. Москва, Энергия, 1979.
Chicago Style (17th ed.) CitationФедоров Л. П. Лель Павлович, Багров В. М. Виталий Михайлович, Тихонов Ю. Н. Юрий Николаевич, and Петрова Л. А. Производство полупроводниковых приборов. Москва, Энергия, 1979, 1979.
MLA (9th ed.) CitationФедоров Л. П. Лель Павлович, et al. Производство полупроводниковых приборов. Москва, Энергия, 1979, 1979.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.