Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии, учебник для бакалавриата и магистратуры

Bibliographic Details
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors: Иванов В. И. Владимир Иванович (340), Лучников П. А. Петр Александрович, Сигов А. С. Александр Сергеевич, Суржиков А. П. Анатолий Петрович
Summary:Серия «Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах уни­верситетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в ориги­нальной редакции.В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электрон­ных приборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектро­механических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытии и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено техно­логическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специально­стям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектиро­вание и технология радиоэлектронных средств» и'«Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Language:Russian
Published: Москва, Юрайт, 2016
Series:Университеты России
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=314888
Description
Physical Description:269 с. ил.
Summary:Серия «Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах уни­верситетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в ориги­нальной редакции.В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электрон­ных приборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектро­механических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытии и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено техно­логическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специально­стям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектиро­вание и технология радиоэлектронных средств» и'«Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
ISBN:9785991671538