Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы, учебник для бакалавриата и магистратуры

Podrobná bibliografie
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Další autoři:	Иванов В. И. Владимир Иванович (340), Лучников П. А. Петр Александрович, Сигов А. С. Александр Сергеевич, Суржиков А. П. Анатолий Петрович, Гуляев Ю. В. Юрий Васильевич
Shrnutí:	Серия «Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Vydáno:	Москва, Юрайт, 2016
Edice:	Университеты России
Témata:	кремниевые пластины производство кремний оксидирование диффузионные процессы литографические процессы сухое травление сборка ионное легирование герметизация покрытия вакуумное выпаривание ионное распыление диэлектрические покрытия монокристаллические слои выпаривание эпитаксиальные методы интегральные схемы металлизация учебники труды учёных ТПУ
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=314887