|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
314887 |
| 005 |
20240201092541.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785991671552
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\340319
|
| 090 |
|
|
|a 314887
|
| 100 |
|
|
|a 20160219d2016 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы
|e учебник для бакалавриата и магистратуры
|f В. И. Иванов [и др.]
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Ю. В. Гуляева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Юрайт
|d 2016
|
| 215 |
|
|
|a 459 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Университеты России
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 405-406.
|
| 330 |
|
|
|a Серия «Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
|
| 606 |
1 |
|
|a Радиоэлектронная аппаратура
|x Физические основы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\23508
|9 48094
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a оксидирование
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a литографические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a сухое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a сборка
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a герметизация
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумное выпаривание
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллические слои
|
| 610 |
1 |
|
|a выпаривание
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a учебники
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.396.6:53(075.8)
|v 4
|
| 701 |
|
1 |
|a Иванов
|b В. И.
|g Владимир Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Лучников
|b П. А.
|g Петр Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Сигов
|b А. С.
|c физик
|c ведущий научный сотрудник Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1945-
|g Александр Сергеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\36515
|
| 701 |
|
1 |
|a Суржиков
|b А. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1951-
|g Анатолий Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22010
|9 9307
|
| 702 |
|
1 |
|a Гуляев
|b Ю. В.
|c российский физик
|c академик РАН
|f 1935-
|g Юрий Васильевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\18665
|4 340
|9 6964
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160219
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160516
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
