Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы, учебник для бакалавриата и магистратуры

Manylion Llyfryddiaeth
Awdur Corfforaethol: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Awduron Eraill: Иванов В. И. Владимир Иванович (340), Лучников П. А. Петр Александрович, Сигов А. С. Александр Сергеевич, Суржиков А. П. Анатолий Петрович, Гуляев Ю. В. Юрий Васильевич
Crynodeb:Серия «Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приве­дены основные схемы технологического оборудования и оснастки.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология ради­оэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для сту­дентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Cyhoeddwyd: Москва, Юрайт, 2016
Cyfres:Университеты России
Pynciau:
Fformat: Llyfr
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=314887
Disgrifiad
Disgrifiad Corfforoll:459 с. ил.
Crynodeb:Серия «Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приве­дены основные схемы технологического оборудования и оснастки.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология ради­оэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для сту­дентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
ISBN:9785991671552