MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 314254
005 20231102002647.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\339665 
090 |a 314254 
100 |a 20160210d1982 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a LV 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Электромагнитные радиоволновые приборы для контроля слоев полупроводниковых и металлических структур  |f В. В. Гаврилин, Ю. К. Григулис, В. М. Пориньш  |g Латвийская академия наук (ЛАН), Физико-энергетический институт (ФЭИ) 
210 |a Рига  |c Зинатне  |d 1982 
215 |a 162 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 150-160 
606 1 |a Полупроводники  |x Структура  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50596  |9 69249 
606 1 |a Металлы  |x Структура  |x Исследование  |x Электромагнитный метод  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43070  |9 62655 
610 1 |a электромагнитные приборы 
610 1 |a радиоволновые приборы 
610 1 |a контрольные приборы 
610 1 |a слои 
610 1 |a физические принципы 
610 1 |a частотные диапазоны 
610 1 |a импедансные методы 
610 1 |a рулонные материалы 
610 1 |a вакуумные установки 
675 |a 621.315.592  |v 4 
675 |a 669:620.179  |v 4 
700 1 |a Гаврилин  |b В. В.  |g Валерий Валентинович 
701 1 |a Григулис  |b Ю. К.  |g Юрис Карлович 
701 1 |a Пориньш  |b В. М.  |g Виестур Мартынович 
712 0 2 |a Латвийская академия наук (ЛАН)  |b Физико-энергетический институт (ФЭИ)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\17650 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20160210 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20200116  |g RCR 
942 |c BK