|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
314127 |
| 005 |
20231102002639.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\339538
|
| 090 |
|
|
|a 314127
|
| 100 |
|
|
|a 20160209d1974 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c jpn
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология ионного легирования
|e пер. с яп.
|f под ред. С. Намба ; под ред. П. В. Павлова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Советское радио
|d 1974
|
| 215 |
|
|
|a 160 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 140-156
|
| 606 |
1 |
|
|a Легирование ионное
|x Технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\39890
|9 59789
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a установки
|
| 610 |
1 |
|
|a анализаторы
|
| 610 |
1 |
|
|a приемные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a длина пробега
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a внедрение
|
| 610 |
1 |
|
|a каналирование
|
| 610 |
1 |
|
|a дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a решетки
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный парамагнитный резонанс
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a сложные полупроводники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Намба
|b С.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Павлов
|b П. В.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160209
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200720
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
