|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
314102 |
| 005 |
20231102002638.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-55805
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\339513
|
| 090 |
|
|
|a 314102
|
| 100 |
|
|
|a 20160208d1982 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Обработка полупроводниковых материалов
|e монография
|f В. И. Карбань [и др.]
|g Академия наук Украинской ССР (АН УССР), Институт сверхтвердых материалов (ИСМ) ; под ред. Н. В. Новикова , В. Бертольди
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Наукова думка
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 254 с.
|c ил.
|d 22 см.
|
| 300 |
|
|
|a Авт. указаны на 2-й с.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 235-252
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые материалы
|x Параметры
|x Измерение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50665
|9 69316
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a инструментальные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a абразивные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a деформация
|
| 610 |
1 |
|
|a разрушение
|
| 610 |
1 |
|
|a механические воздействия
|
| 610 |
1 |
|
|a алмазно-абразивная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a микрорезание
|
| 610 |
1 |
|
|a резка
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a шлифование
|
| 610 |
1 |
|
|a полирование
|
| 610 |
1 |
|
|a процесс
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592
|z rus
|v 4
|
| 701 |
|
1 |
|a Карбань
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кой
|b П.
|
| 701 |
|
1 |
|a Рогов
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Хофман
|b Х.
|
| 701 |
|
1 |
|a Борхардт
|b А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Григорьев
|b О. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Зайфарт
|b Х.
|
| 702 |
|
1 |
|a Новиков
|b Н. В.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Бертольди
|b В.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Украинской ССР (АН УССР)
|b Институт сверхтвердых материалов (ИСМ)
|c (Киев)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\2641
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160208
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171024
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
