Академия наук Украинской ССР (АН УССР) Институт сверхтвердых материалов (ИСМ), Карбань В. И., Кой П, Рогов В. В., Хофман Х, Борхардт А, . . . Бертольди В. (1982). Обработка полупроводниковых материалов: монография. Киев, Наукова думка, 1982.
Chicago Style (17th ed.) CitationАкадемия наук Украинской ССР (АН УССР) Институт сверхтвердых материалов (ИСМ), et al. Обработка полупроводниковых материалов: монография. Киев, Наукова думка, 1982, 1982.
MLA (9th ed.) CitationАкадемия наук Украинской ССР (АН УССР) Институт сверхтвердых материалов (ИСМ), et al. Обработка полупроводниковых материалов: монография. Киев, Наукова думка, 1982, 1982.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.