|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
313617 |
| 005 |
20231102002610.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\339001
|
| 090 |
|
|
|a 313617
|
| 100 |
|
|
|a 20160129d1967 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a К расчету вакуумных систем
|e методическое пособие для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение"
|f Уральский политехнический институт им. С. М. Кирова
|
| 210 |
|
|
|a Свердловск
|c Изд-во УПИ
|d 1967
|
| 215 |
|
|
|a 18 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 12
|
| 606 |
1 |
|
|a Вакуумные системы
|x Расчет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\1974
|9 30619
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a газы
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a создание
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a течь
|
| 610 |
1 |
|
|a обнаружение
|
| 610 |
1 |
|
|a расчеты
|
| 610 |
1 |
|
|a проектирование
|
| 610 |
1 |
|
|a методические пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.52.001(07)
|v 4
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Уральский политехнический институт им. С. М. Кирова
|c (Свердловск)
|c (1948-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1982
|9 23638
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160129
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171024
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
