Фото-, электроно- и рентгенорезисты

Фото-, электроно- и рентгенорезисты

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Москва, Радио и связь, 1982
Serie:	Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Soggetti:	Фотолитография терминология классификация полимеры излучения фоторезисты электронорезисты рентгенорезисты ионно-плазменное травление
Natura:	MixedMaterials Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=312500

Documenti analoghi

Основы фотолитографии: учебное пособие
di: Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Pubblicazione: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
di: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Pubblicazione: (Киев, Вища школа, 1983)

Введение в фотолитографию
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1977)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
di: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1983)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Pubblicazione: (2011)

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Pubblicazione: (1990)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Ходыревская Ю. И.
Pubblicazione: (2012)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2016)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
di: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Pubblicazione: (Москва, Высшая школа, 1987)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
di: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Pubblicazione: (Новосибирск, Наука, 1988)

Моделирование технологических процессов микроэлектроники
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1992)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
di: Терехов А. И.
Pubblicazione: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
di: Мокеев О. К. Олег Константинович
Pubblicazione: (Москва, Высшая школа, 1979)

Печатные платы: конструкции и материалы
di: Медведев А. М.
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2005)

Химические процессы в технологии изготовления печатных плат
di: Федулова А. А. Антонина Арсентьевна
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1981)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
di: Боброва Ю. С.
Pubblicazione: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
di: Владимирова Л. Н.
Pubblicazione: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
di: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1984)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2016)

Физика субмикронной литографии
di: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1990)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
Pubblicazione: (2006)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2018)

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник
di: Мокеев О. К. Олег Константинович
Pubblicazione: (Москва, Высшая школа, 1985)

Ионно-плазменное наноструктурирование поверхностных слоев высокопрочных сталей и сплавов и нанесение наноструктурных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
di: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Pubblicazione: (Томск, 2011)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
di: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 5-23/80
Pubblicazione: (Томск, 1981)

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
Pubblicazione: (Ленинград, Наука, 1984)

Физическая электроника и интегральная технология: Сборник научных трудов
Pubblicazione: (СПб., Изд-во СПбГЭТУ, 1994)

Увеличение адгезии TiN покрытия на твердосплавном инструменте, предварительно обработанном мощным ионным пучком; Физика и химия обработки материалов; № 6
di: Тарбоков В. А. Владислав Александрович
Pubblicazione: (2003)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
di: Овечкин В. И.
Pubblicazione: (2009)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Pubblicazione: (Москва, Учеба, 2007)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
di: Королев М. А. Михаил Александрович
Pubblicazione: (2009)

Справочник по вакуумной технике и технологиям: пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2011)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2010)

Ионно-плазменное напыление биоактивных покрытий на материалы медицинских имплантантов; Электротехника, электромеханика и электротехнологии
di: Михайдаров В. А.
Pubblicazione: (2005)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
di: Владимирова Л. Н.
Pubblicazione: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке; Современные техника и технологии; Т. 1
di: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Pubblicazione: (2009)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
di: Гридчин А. В. Александр Викторович
Pubblicazione: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)