Фото-, электроно- и рентгенорезисты

Фото-, электроно- и рентгенорезисты

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Москва, Радио и связь, 1982
Colección:	Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Materias:	Фотолитография терминология классификация полимеры излучения фоторезисты электронорезисты рентгенорезисты ионно-плазменное травление
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=312500

Ejemplares similares

Основы фотолитографии: учебное пособие
por: Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Publicado: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
por: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Publicado: (Киев, Вища школа, 1983)

Введение в фотолитографию
Publicado: (Москва, Энергия, 1977)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
por: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publicado: (Москва, Радио и связь, 1983)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Publicado: (2011)

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Publicado: (1990)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
por: Ходыревская Ю. И.
Publicado: (2012)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
por: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicado: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Publicado: (Москва, Юрайт, 2016)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
por: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Publicado: (Москва, Высшая школа, 1987)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
por: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Publicado: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Publicado: (Новосибирск, Наука, 1988)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
por: Терехов А. И.
Publicado: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
por: Мокеев О. К. Олег Константинович
Publicado: (Москва, Высшая школа, 1979)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
por: Боброва Ю. С.
Publicado: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
por: Владимирова Л. Н.
Publicado: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Химические процессы в технологии изготовления печатных плат
por: Федулова А. А. Антонина Арсентьевна
Publicado: (Москва, Радио и связь, 1981)

Печатные платы: конструкции и материалы
por: Медведев А. М.
Publicado: (Москва, Техносфера, 2005)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
por: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publicado: (Москва, Радио и связь, 1984)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
por: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Publicado: (2016)

Физика субмикронной литографии
por: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publicado: (Москва, Наука, 1990)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
Publicado: (2006)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
por: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Publicado: (Москва, Техносфера, 2018)

Ионно-плазменное наноструктурирование поверхностных слоев высокопрочных сталей и сплавов и нанесение наноструктурных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
por: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Publicado: (Томск, 2011)

Увеличение адгезии TiN покрытия на твердосплавном инструменте, предварительно обработанном мощным ионным пучком; Физика и химия обработки материалов; № 6
por: Тарбоков В. А. Владислав Александрович
Publicado: (2003)

Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 5-23/80
Publicado: (Томск, 1981)

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебник
por: Мокеев О. К. Олег Константинович
Publicado: (Москва, Высшая школа, 1985)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
por: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Publicado: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
por: Овечкин В. И.
Publicado: (2009)

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
Publicado: (Ленинград, Наука, 1984)

Ионно-плазменное напыление биоактивных покрытий на материалы медицинских имплантантов; Электротехника, электромеханика и электротехнологии
por: Михайдаров В. А.
Publicado: (2005)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Publicado: (Москва, Учеба, 2007)

Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"; Современные техника и технологии; Т. 1.
por: Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Publicado: (2003)

Антифрикционные тонкоплёночные покрытия на основе дисульфида молибдена; Справочник. Инженерный журнал; № 3
por: Панфилов Ю. В.
Publicado: (2003)

Справочник по вакуумной технике и технологиям: пер. с англ.
Publicado: (Москва, Техносфера, 2011)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
por: Владимирова Л. Н.
Publicado: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
por: Королев М. А. Михаил Александрович
Publicado: (2009)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
por: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Publicado: (Москва, Техносфера, 2010)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке; Современные техника и технологии; Т. 1
por: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Publicado: (2009)

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие
por: Гридчин А. В. Александр Викторович
Publicado: (Москва, Инфра-Инженерия, 2024)