|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
312500 |
| 005 |
20231102002506.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-35696
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\337869
|
| 090 |
|
|
|a 312500
|
| 100 |
|
|
|a 20151223d1982 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Фото-, электроно- и рентгенорезисты
|f Ю. С. Боков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 136 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 129-135
|
| 606 |
|
|
|a Фотолитография
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\64237
|9 81148
|
| 610 |
1 |
|
|a терминология
|
| 610 |
1 |
|
|a классификация
|
| 610 |
1 |
|
|a полимеры
|
| 610 |
1 |
|
|a излучения
|
| 610 |
1 |
|
|a фоторезисты
|
| 610 |
1 |
|
|a электронорезисты
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгенорезисты
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное травление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Боков
|b Ю. С.
|g Юрий Сергеевич
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151223
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181002
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
