|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
310943 |
| 005 |
20231102002334.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-2210
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\336298
|
| 090 |
|
|
|a 310943
|
| 100 |
|
|
|a 20151201d1981 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании
|e учебное пособие
|f В. В. Одиноков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 55 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Профтехобразование
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 54
|
| 606 |
1 |
|
|a Вакуумное оборудование
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\65811
|9 82179
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Автоматизация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43840
|9 63281
|
| 610 |
1 |
|
|a шлюзовая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a шлюзовые системы
|
| 610 |
1 |
|
|a использование
|
| 610 |
1 |
|
|a расчеты
|
| 610 |
1 |
|
|a компоновка
|
| 610 |
1 |
|
|a конструктивные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(075.32)
|z rus
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.52(075.32)
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Одиноков
|b В. В.
|g Вадим Васильевич
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151201
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190926
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
