Вопросы радиационной технологии полупроводников: [монография]

Вопросы радиационной технологии полупроводников: [монография]

Bibliografski detalji
Autor kompanije: Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
Daljnji autori: Смирнов Л. С. (редактор)
Jezik:ruski
Izdano: Новосибирск, Наука, 1980
Teme:
Полупроводники > Радиационная технология
радиационные дефекты
частицы
энергия
облучение
интенсивность
технологическое использование
ионное легирование
лазерный отжиг
тонкие пленки
ядерное легирование
ядерные реакции
Format: Knjiga
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=310907

Slični predmeti