Вопросы радиационной технологии полупроводников: [монография]

Dettagli Bibliografici
Ente Autore:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
Altri autori:	Смирнов Л. С. (редактор)
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Новосибирск, Наука, 1980
Soggetti:	Полупроводники > Радиационная технология радиационные дефекты частицы энергия облучение интенсивность технологическое использование ионное легирование лазерный отжиг тонкие пленки ядерное легирование ядерные реакции
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=310907

Documenti analoghi