|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
310907 |
| 005 |
20231102002331.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\336260
|
| 090 |
|
|
|a 310907
|
| 100 |
|
|
|a 20151201d1980 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Вопросы радиационной технологии полупроводников
|e [монография]
|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП) ; под ред. Л. С. Смирнова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 294 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Радиационная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50569
|9 69222
|
| 610 |
1 |
|
|a радиационные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a частицы
|
| 610 |
1 |
|
|a энергия
|
| 610 |
1 |
|
|a облучение
|
| 610 |
1 |
|
|a интенсивность
|
| 610 |
1 |
|
|a технологическое использование
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерный отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a ядерное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a ядерные реакции
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Смирнов
|b Л. С.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт физики полупроводников (ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151201
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201222
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
