MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 309673
005 20231102002219.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\335012 
090 |a 309673 
100 |a 20151117d1981 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a UA 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Управление технологическими процессами при производстве ИС  |f Ю. П. Медведев, Ю. С. Синекоп, А. П. Коц  |g Общество "Знание" Украинской ССР 
210 |a Киев  |c Знание  |d 1981 
215 |a 19 с.  |c ил. 
225 1 |a Библиотечка "Проблемы интегральной электроники" 
320 |a Библиогр.: с. 19 
606 1 |a Интегральные схемы  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12775  |9 39495 
610 1 |a производство 
610 1 |a технологические процессы 
610 1 |a управление 
610 1 |a информационные системы 
610 1 |a диспетчерские системы 
610 1 |a моделирование 
675 |a 621.382.049.77  |v 4 
700 1 |a Медведев  |b Ю. П.  |g Юрий Павлович 
701 1 |a Синекоп  |b Ю. С.  |g Юрий Степанович 
701 1 |a Коц  |b А. П.  |g Александр Павлович 
712 0 2 |a Общество "Знание" Украинской ССР  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\8781  |9 24581 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20151117 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20190910  |g RCR 
942 |c BK