Управление технологическими процессами при производстве ИС
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Language: | Russian |
| Published: |
Киев, Знание, 1981
|
| Series: | Библиотечка "Проблемы интегральной электроники" |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=309673 |
| Physical Description: | 19 с. ил. |
|---|