|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
309391 |
| 005 |
20231102002203.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-927
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\334713
|
| 090 |
|
|
|a 309391
|
| 100 |
|
|
|a 20151112d1982 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства
|f В. В. Сысоев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 119 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 114-117
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы интегральные
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматизированные системы проектирования
|
| 610 |
1 |
|
|a технологический процесс
|
| 610 |
1 |
|
|a расчет
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a оптимальное проектирование
|
| 610 |
1 |
|
|a модели
|
| 610 |
1 |
|
|a математическая формализация
|
| 610 |
1 |
|
|a динамическое программирование
|
| 610 |
1 |
|
|a векторная оптимизация
|
| 610 |
1 |
|
|a скалярные модели
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматизированное проектирование
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Сысоев
|b В. В.
|g Валерий Васильевич
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151112
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190916
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
