|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
309053 |
| 005 |
20231102002143.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\334375
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\328756
|
| 090 |
|
|
|a 309053
|
| 100 |
|
|
|a 20151109d1975 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Ч. 2
|
| 210 |
|
|
|d 1975
|
| 215 |
|
|
|a 438 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\327943
|t Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок
|o [сборник]
|o в 2 ч.
|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП) ; Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт неорганической химии им. А. В. Николаева (ИНХ) ; отв. ред. Л. Н. Александров , Ф. А. Кузнецов
|v Ч. 2
|d 1975
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводники
|x Кристаллы
|x Рост
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50566
|9 69219
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a зарождение
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические закономерности
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a термодинамика
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a дефекты
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002(063)
|v 3
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150903
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151109
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
