MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 308966
005 20231102002138.0
020 |a RU  |b 81-95594 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\334287 
090 |a 308966 
100 |a 20151109d1981 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике  |e сборник научных трудов  |f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. А. А. Сазонова 
210 |a Москва  |c Изд-во МИЭТ  |d 1981 
215 |a 124 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр. в конце ст. 
606 1 |a Микроэлектронные схемы  |x Производство  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43828  |9 63270 
610 1 |a автоматизация 
610 1 |a автоматические приборы 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a автоматические системы регулирования 
610 1 |a автоматические средства контроля 
610 1 |a измерительные преобразователи 
610 1 |a электрические величины 
610 1 |a позиционирование 
610 1 |a метрологическое обеспечение 
675 |a 621.382.049.77.002  |z rus  |v 3 
702 1 |a Сазонов  |b А. А.  |4 340 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)  |c (1965-1992)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20151109 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20190725  |g RCR 
942 |c BK