MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 308241
005 20231102002056.0
020 |a RU  |b 81-67331 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\333550 
090 |a 308241 
100 |a 20151029d1981 km y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Генераторы изображений в производстве интегральных микросхем  |f И. М. Глазков, Я. А. Райхман  |g под ред. Э. И. Точицкого 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1981 
215 |a 144 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 142-143 
606 1 |a Интегральные схемы микроэлектронные  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12776  |9 39496 
610 1 |a генераторы изображения 
610 1 |a изображения 
610 1 |a генерирование 
610 1 |a литография 
610 1 |a методы 
610 1 |a оптические генераторы 
610 1 |a электроннолучевые генераторы 
610 1 |a перспективы 
675 |a 621.382.049.77  |v 3 
700 1 |a Глазков  |b И. М.  |g Илья Михайлович 
701 1 |a Райхман  |b Я. А.  |g Яков Аронович 
702 1 |a Точицкий  |b Э. И.  |4 340 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950704  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20151029 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20191205  |g RCR 
942 |c BK