MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 308100
005 20231102002047.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\333409 
090 |a 308100 
100 |a 20151028d1981 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Полупроводниковые пленки и миниатюрные измерительные преобразователи  |f Э. И. Болванович  |g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Институт физики твердого тела и полупроводников 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1981 
215 |a 214 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 199-212 
606 1 |a Преобразователи измерительные  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\51186  |9 69789 
610 1 |a полупроводниковые пленки 
610 1 |a миниатюризация 
610 1 |a электрические сигналы 
610 1 |a получение 
610 1 |a свойства 
610 1 |a интегральные технологии 
610 1 |a гальваномагнитные преобразователи 
610 1 |a терморезисторные преобразователи 
610 1 |a терморезисторы 
610 1 |a датчики давления 
675 |a 681.586  |v 4 
700 1 |a Болванович  |b Э. И.  |g Эдуард Иосифович 
712 0 2 |a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)  |b Институт физики твердого тела и полупроводников  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\11357 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20151028 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20191018  |g RCR 
942 |c BK