|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
307296 |
| 005 |
20231102001959.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\332589
|
| 090 |
|
|
|a 307296
|
| 100 |
|
|
|a 20151019d1983 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения
|e пер. с англ.
|f под ред. Л. Казмерски, А. А. Веденова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 304 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 298-300
|
| 606 |
1 |
|
|a Микросхемы пленочные
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43769
|9 63211
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a электрические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллические пленки
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Казмерски
|b Л.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Веденов
|b А. А.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151019
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190716
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
