|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
306153 |
| 005 |
20231102001852.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\331430
|
| 090 |
|
|
|a 306153
|
| 100 |
|
|
|a 20151003d1978 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник
|f В. Г. Литовченко, А. П. Горбань
|g Академия наук Украинской ССР (АН УССР), Институт полупроводников (ИП)
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Наукова думка
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 315 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 286-313.
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые соединения
|x Физика
|x Оптические свойства
|x Электрические свойства
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50740
|9 69390
|
| 606 |
1 |
|
|a Электроника полупроводниковая
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20334
|9 45443
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a МДП-структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллическая структура
|
| 610 |
1 |
|
|a двухслойные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a переноса явления
|
| 610 |
1 |
|
|a фотоемкостный эффект
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a зарядовая связь
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.382
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592:53
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Литовченко
|b В. Г.
|g Владимир Григорьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Горбань
|b А. П.
|g Анатолий Петрович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Украинской ССР (АН УССР)
|b Институт полупроводников (ИП)
|c (Киев)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12057
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151003
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211028
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
