MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 306077
005 20231102001848.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\331354 
090 |a 306077 
100 |a 20151002d1981 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Технология, надежность и автоматизация производства БГИС и микросборок  |e учебное пособие  |f А. В. Фомин, Ю. И. Боченков, В. А. Сорокопуд  |g под ред. А. В. Фомина 
210 |a Москва  |c Радио и связь  |d 1981 
215 |a 351 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 343-346. 
320 |a Предм. указ.: с. 347-349. 
606 1 |a Микросхемотехника  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43763  |9 63206 
610 1 |a интегральная техника 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a напыление 
610 1 |a микросхемы 
610 1 |a сборочно-монтажные производства 
610 1 |a качество 
610 1 |a анализ 
610 1 |a оценка 
610 1 |a надежность 
610 1 |a автоматизация 
610 1 |a конструирование 
610 1 |a производство 
610 1 |a микросборки 
610 1 |a учебники 
675 |a 621.382.049.77(075.8)  |v 3 
700 1 |a Фомин  |b А. В.  |g Алексей Васильевич 
701 1 |a Боченков  |b Ю. И.  |g Юрий Иванович 
701 1 |a Сорокопуд  |b В. А.  |g Виктор Андреевич 
702 1 |a Фомин  |b А. В.  |g Алексей Васильевич  |4 340 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20151002 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20181016  |g RCR 
942 |c BK