|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
306076 |
| 005 |
20231102001848.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\331353
|
| 090 |
|
|
|a 306076
|
| 100 |
|
|
|a 20151002d1979 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химические основы технологии микроэлектроники
|e учебное пособие
|f Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 408 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 400-403
|
| 320 |
|
|
|a Предм. указ.: с. 404-405
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|x Производство
|x Метрологическое обеспечение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43813
|9 63255
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a химические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a вещество
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхность
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a удаление
|
| 610 |
1 |
|
|a перераспределение
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a интенсификация
|
| 610 |
1 |
|
|a управляемость
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Чистяков
|b Ю. Д.
|g Юрий Дмитриевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Райнова
|b Ю. П.
|g Юлия Петровна
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151002
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200306
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
