• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Pokročilé
  • Физико-химические основы техно...
  • Vytvořit citaci
  • Zaslat SMS
  • Poslat e-mailem
  • Vytisknout
  • Exportovat záznam
    • Exportovat do RefWorks
    • Exportovat do EndNoteWeb
    • Exportovat do EndNote
  • Trvalý odkaz
Физико-химические основы технологии микроэлектроники: учебное пособие

Физико-химические основы технологии микроэлектроники: учебное пособие

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Další autoři: Райнова Ю. П. Юлия Петровна
Jazyk:ruština
Vydáno: Москва, Металлургия, 1979
Témata:
Микроэлектроника > Производство > Метрологическое обеспечение
физические основы
химические основы
учебные пособия
нанесение
вещество
поверхность
подложки
твердые фазы
удаление
перераспределение
примеси
интенсификация
управляемость
Médium: Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306076
  • Jednotky
  • Popis
  • Podobné jednotky
  • UNIMARC/MARC
Popis
Fyzický popis:408 с. ил.

Podobné jednotky

  • Метрологическое обеспечение производства приборов микроэлектроники
    Autor: Сретенский В. Н. Василий Николаевич
    Vydáno: (Москва, Радио и связь, 1988)
  • Физические методы и средства неразрушающего контроля в производстве микроэлектронной аппаратуры и ее компонентов: сборник научных трудов
    Vydáno: (Ленинград, Изд-во ЛИАП, 1986)
  • Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: сборник научных трудов
    Vydáno: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1981)
  • Технология производства микроэлектронных устройств: учебник
    Autor: Малышева И. А. Идея Александровна
    Vydáno: (Москва, Энергия, 1980)
  • Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
    Autor: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
    Vydáno: (2010)