MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 306014
005 20231102001845.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\331290 
090 |a 306014 
100 |a 20151002d1978 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Электронно-зондовые методы исследования полупроводниковых материалов и приборов  |f С. Г. Конников, А. Ф. Сидоров 
210 |a Москва  |c Энергия  |d 1978 
215 |a 136 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 127-135. 
606 1 |a Полупроводниковая техника  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50662  |9 69313 
610 1 |a качественный микроанализ 
610 1 |a количественный микроанализ 
610 1 |a рентгено-спектральный анализ 
610 1 |a эксперименты 
610 1 |a чувствительность 
610 1 |a локальные исследования 
610 1 |a полупроводниковые материалы 
610 1 |a фазовые диаграммы 
610 1 |a состояние 
610 1 |a гетеропереходы 
610 1 |a химический состав 
610 1 |a полупроводниковые приборы 
675 |a 621.315.592  |v 3 
700 1 |a Конников  |b С. Г.  |g Самуил Гиршевич 
701 1 |a Сидоров  |b А. Ф.  |g Александр Федорович 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20151002 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160929  |g RCR 
942 |c BK