Эллипсометрия-метод исследования поверхности

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
Weitere Verfasser:	Ржанов А. В. (редактор)
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Новосибирск, Наука, 1983
Schlagworte:	Эллипсометрия > Метод исследования поверхности тонкие пленки физико-химические методы твердые тела поверхности оптические характеристики эллипсометры эллипсометрическое исследование структура
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305996

Ähnliche Einträge