|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
305996 |
| 005 |
20231102001844.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\331272
|
| 090 |
|
|
|a 305996
|
| 100 |
|
|
|a 20151002d1983 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Эллипсометрия-метод исследования поверхности
|f Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП) ; под ред. А. В. Ржанова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 171 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Эллипсометрия
|x Метод исследования поверхности
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21159
|9 46194
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a эллипсометры
|
| 610 |
1 |
|
|a эллипсометрическое исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 675 |
|
|
|a 539.211
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Ржанов
|b А. В.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт физики полупроводников (ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151002
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190426
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
