Эллипсометрия-метод исследования поверхности

מידע ביבליוגרפי
מחבר תאגידי:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
מחברים אחרים:	Ржанов А. В. (340)
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Новосибирск, Наука, 1983
נושאים:	Эллипсометрия > Метод исследования поверхности тонкие пленки физико-химические методы твердые тела поверхности оптические характеристики эллипсометры эллипсометрическое исследование структура
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305996

תיאור
תיאור פיזי:	171 с. ил.

פריטים דומים