|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
305942 |
| 005 |
20231102001841.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\331217
|
| 090 |
|
|
|a 305942
|
| 100 |
|
|
|a 20151001d1969 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия
|e пер. с англ.
|f под ред. Р. Бургера , Р. Донована
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1969
|
| 215 |
|
|
|a 451 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 606 |
1 |
|
|a Интегральные схемы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12775
|9 39495
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a планарные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a микроминиатюризация
|
| 610 |
1 |
|
|a кварцевое стекло
|
| 610 |
1 |
|
|a окислы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a окисные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a инверсия
|
| 610 |
1 |
|
|a стабильность
|
| 610 |
1 |
|
|a теория диффузии
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Бургер
|b Р.
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Донован
|b Р.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151001
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160201
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
