Бургер Р & Донован Р. (1969). Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969.
Style de citation Chicago (17e éd.)Бургер Р et Донован Р. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969, 1969.
Style de citation MLA (9e éd.)Бургер Р et Донован Р. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969, 1969.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.