APA (7th ed.) Citation

Бургер Р & Донован Р. (1969). Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Бургер Р and Донован Р. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969, 1969.

MLA (9th ed.) Citation

Бургер Р and Донован Р. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969, 1969.