Бургер Р & Донован Р. (1969). Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969.
Dyfyniad Arddull ChicagoБургер Р and Донован Р. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969, 1969.
Dyfyniad MLAБургер Р and Донован Р. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ. Москва, Мир, 1969, 1969.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.