MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 305628
005 20231102001822.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\330900 
090 |a 305628 
100 |a 20150929d1980 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Магнитные металлические пленки в микроэлектронике  |f Р. Д. Иванов 
210 |a Москва  |c Советское радио  |d 1980 
215 |a 191 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 178-188. 
320 |a Предм. указ.: с. 189. 
606 1 |a Микроэлектроника толстопленочная  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43822  |9 63264 
610 1 |a металлические пленки 
610 1 |a магнитные пленки 
610 1 |a получение 
610 1 |a свойства 
610 1 |a катодное распыление 
610 1 |a отжиг 
610 1 |a применение 
675 |a 621.382.049.772  |v 3 
700 1 |a Иванов  |b Р. Д.  |g Роберт Дмитриевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150929 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20151005  |g RCR 
942 |c BK