MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 305609
005 20231102001821.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\330881 
090 |a 305609 
100 |a 20150929d1979 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Расчет комплексов оборудования микроэлектроники  |f Р. В. Корнилов, В. Л. Сандеров 
210 |a Москва  |c Энергия  |d 1979 
215 |a 104 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 101-103. 
606 1 |a Микроэлектроника  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811  |9 63253 
610 1 |a оборудование 
610 1 |a комплексы 
610 1 |a расчеты 
610 1 |a автоматизированные поточные линии 
610 1 |a теория массового обслуживания 
675 |a 621.382.049.77  |v 3 
700 1 |a Корнилов  |b Р. В.  |g Ростислав Васильевич 
701 1 |a Сандеров  |b В. Л.  |g Вильям Лазаревич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20150929 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20151005  |g RCR 
942 |c BK