|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
305585 |
| 005 |
20231101011003.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\330857
|
| 090 |
|
|
|a 305585
|
| 100 |
|
|
|a 20150928d1982 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология полупроводниковых соединений
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. Е. Б. Соколова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 126 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые соединения
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50729
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a использование
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a гетероструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Соколов
|b Е. Б.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150928
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190211
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
