Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, учебник для бакалавриата и магистратуры

Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակներ: Высшая школа экономики (ВШЭ) Национальный исследовательский университет (НИУ), Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники (МИРЭА)
Այլ հեղինակներ: Сигов А. С. Александр Сергеевич (340)
Ամփոփում:В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, /-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волно­вого движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, раачичных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, элек­тростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др.
Լեզու:ռուսերեն
Հրապարակվել է: Москва, Юрайт, 2016
Հրատարակություն:2-е изд., перераб. и доп.
Շարք:Авторский учебник
Խորագրեր:
Ձևաչափ: Գիրք
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305570

Նմանատիպ նյութեր