Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники, учебник для бакалавриата и магистратуры
| Corporate Authors: | , |
|---|---|
| Andre forfattere: | |
| Summary: | В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, /-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, раачичных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др. |
| Udgivet: |
Москва, Юрайт, 2016
|
| Udgivelse: | 2-е изд., перераб. и доп. |
| Serier: | Авторский учебник |
| Fag: | |
| Format: | Bog |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305570 |
| Fysisk beskrivelse: | 370 с. ил. |
|---|---|
| Summary: | В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, /-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, раачичных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др. |
| ISBN: | 9785991664141 |