Эллипсометрия в микроэлектронике

Эллипсометрия в микроэлектронике

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	Резвый Р. Р. Ростислав Ростиславович
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:	Москва, Радио и связь, 1983
Pynciau:	Эллипсометрия (в микроэлектронике) микроэлектроника применение физические принципы математическая обработка эллипсометрическое измерения эллипсометры пластины поверхности подготовка полупроводниковые слои
Fformat:	Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305477

Eitemau Tebyg

Количественная хроматография на бумаге и в тонком слое
gan: Шеллард Э.
Cyhoeddwyd: (Москва, Мир, 1971)

Эллипсометрия-метод исследования поверхности
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1983)

Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации; Приборы и техника эксперимента; № 2
gan: Ковалев В. И.
Cyhoeddwyd: (2003)

Эллипсометрия в физико-химических исследованиях
gan: Пшеницын В. И. Владимир Ильич
Cyhoeddwyd: (Ленинград, Химия, 1986)

Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур
gan: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Cyhoeddwyd: (Минск, Наука и техника, 1989)

Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения: сборник научных трудов
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1991)

Эллипсометрия: теория, методы, приложения
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1987)

Лазерная эллипсометрия в технологии электродного производства; Сборник тезисов лауреатов Всероссийского конкурса научно-исследовательских работ студентов и аспирантов в области физических наук в рамках всероссийского фестиваля науки
gan: Стрельников П. А.
Cyhoeddwyd: (2011)

Радиоволновая эллипсометрия
gan: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Cyhoeddwyd: (Минск, Наука и техника, 1985)

Измерения и контроль в микроэлектронике: учебное пособие
Cyhoeddwyd: (Москва, Высшая школа, 1984)

Эллипсометрия и поляризованный свет: пер. с англ.
gan: Аззам Р.
Cyhoeddwyd: (Москва, Мир, 1981)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
gan: Карбань В. И. Валерий Иванович
Cyhoeddwyd: (Москва, Радио и связь, 1988)

Эллипсометрия. Основы метода
gan: Урывский Ю. И. Юрий Иванович
Cyhoeddwyd: (Воронеж, Изд-во ВГУ, 1971)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
gan: Румак Н. В. Николай Владимирович
Cyhoeddwyd: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
gan: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Cyhoeddwyd: (Минск, Наука и техника, 1978)

Микрометаллургия в микроэлектронике; Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении
gan: Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Металлургия, 1978)

Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
gan: Полтавцев Ю. Г. Юрий Гаврилович
Cyhoeddwyd: (Киев, Тэхника, 1990)

Электронные измерения в нанотехнологиях и в микроэлектронике
gan: Афонский А. А.
Cyhoeddwyd: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Арсенид галлия в микроэлектронике: пер. с англ.
Cyhoeddwyd: (Москва, Мир, 1988)

Плазменное анодирование: физика, техника, применение в микроэлектронике
gan: Пархутик В. П. Виталий Петрович
Cyhoeddwyd: (Минск, Наука и техника, 1990)

Термические процессы в микроэлектронике: учебник
gan: Моряков О. С. Олег Сергеевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Высшая школа, 1987)

Точностные расчеты в микроэлектронике
gan: Шумилин А. С. Анатолий Семенович
Cyhoeddwyd: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1980)

Современные проблемы эллипсометрии
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1980)

Ионное легирование в микроэлектронике: учебное пособие для средних профессиональных заведений
gan: Грищенко А. Ф. Анатолий Федорович
Cyhoeddwyd: (Москва, Высшая школа, 1985)

Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 2006)

Поверки и исследования теодолитов и нивелиров в полевых условиях
gan: Лысов Г. Ф. Герман Федорович
Cyhoeddwyd: (Москва, Недра, 1978)

Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука. Сиб. отд-ние, 1980)

Материаловедение в микроэлектронике
gan: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергия, 1978)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
gan: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Cyhoeddwyd: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Нивелиры. Конструкция, сервис, ремонт, эксплуатация: практическое пособие
gan: Захаров А. И. Анатолий Иванович
Cyhoeddwyd: (Москва, Академический проект, 2010)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 2019)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1987)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
gan: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Советское радио, 1980)

Англо-русский словарь по микроэлектронике: около 24 000 терминов
gan: Прохоров К. Я. Константин Яковлевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Русский язык, 1993)

Моделирование физических процессов в элементах кремниевых интегральных микросхем
gan: Абрамов И. И. Игорь Иванович
Cyhoeddwyd: (Минск, БГУ, 1999)

Поляризационные измерения
gan: Волкова Е. А. Елизавета Алексеевна
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во стандартов, 1974)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Основы метода эллипсометрии и его использование в исследовании биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
gan: Шаронова А. А. Анна Александровна
Cyhoeddwyd: (2012)

Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике: сборник научных трудов
Cyhoeddwyd: (Воронеж., Изд-во Воронежского ун-та, 1989)

Русско-немецкий словарь по полупроводниковым приборам и микроэлектронике: около 13000 терминов
gan: Мухов Х. Хельмут
Cyhoeddwyd: (Берлин, Техника, 1975)