Эллипсометрия в микроэлектронике

Эллипсометрия в микроэлектронике

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Резвый Р. Р. Ростислав Ростиславович
Språk:	ryska
Publicerad:	Москва, Радио и связь, 1983
Ämnen:	Эллипсометрия (в микроэлектронике) микроэлектроника применение физические принципы математическая обработка эллипсометрическое измерения эллипсометры пластины поверхности подготовка полупроводниковые слои
Materialtyp:	Bok
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305477

Liknande verk

Количественная хроматография на бумаге и в тонком слое
av: Шеллард Э.
Publicerad: (Москва, Мир, 1971)

Эллипсометрия-метод исследования поверхности
Publicerad: (Новосибирск, Наука, 1983)

Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации; Приборы и техника эксперимента; № 2
av: Ковалев В. И.
Publicerad: (2003)

Эллипсометрия в физико-химических исследованиях
av: Пшеницын В. И. Владимир Ильич
Publicerad: (Ленинград, Химия, 1986)

Эллипсометрия: теория, методы, приложения
Publicerad: (Новосибирск, Наука, 1987)

Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур
av: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Publicerad: (Минск, Наука и техника, 1989)

Радиоволновая эллипсометрия
av: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Publicerad: (Минск, Наука и техника, 1985)

Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения: сборник научных трудов
Publicerad: (Новосибирск, Наука, 1991)

Лазерная эллипсометрия в технологии электродного производства; Сборник тезисов лауреатов Всероссийского конкурса научно-исследовательских работ студентов и аспирантов в области физических наук в рамках всероссийского фестиваля науки
av: Стрельников П. А.
Publicerad: (2011)

Эллипсометрия и поляризованный свет: пер. с англ.
av: Аззам Р.
Publicerad: (Москва, Мир, 1981)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
av: Карбань В. И. Валерий Иванович
Publicerad: (Москва, Радио и связь, 1988)

Эллипсометрия. Основы метода
av: Урывский Ю. И. Юрий Иванович
Publicerad: (Воронеж, Изд-во ВГУ, 1971)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
av: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Publicerad: (Минск, Наука и техника, 1978)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
av: Румак Н. В. Николай Владимирович
Publicerad: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
av: Афонский А. А.
Publicerad: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Микрометаллургия в микроэлектронике; Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении
av: Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Publicerad: (Москва, Металлургия, 1978)

Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
av: Полтавцев Ю. Г. Юрий Гаврилович
Publicerad: (Киев, Тэхника, 1990)

Электронные измерения в нанотехнологиях и в микроэлектронике
av: Афонский А. А.
Publicerad: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Поверки и исследования теодолитов и нивелиров в полевых условиях
av: Лысов Г. Ф. Герман Федорович
Publicerad: (Москва, Недра, 1978)

Современные проблемы эллипсометрии
Publicerad: (Новосибирск, Наука, 1980)

Арсенид галлия в микроэлектронике: пер. с англ.
Publicerad: (Москва, Мир, 1988)

Нивелиры. Конструкция, сервис, ремонт, эксплуатация: практическое пособие
av: Захаров А. И. Анатолий Иванович
Publicerad: (Москва, Академический проект, 2010)

Микроэлектроника и схемотехника учебник
av: Параскевов А. В.
Publicerad: (Краснодар, КубГАУ, 2019)

Термические процессы в микроэлектронике: учебник
av: Моряков О. С. Олег Сергеевич
Publicerad: (Москва, Высшая школа, 1987)

Плазменное анодирование: физика, техника, применение в микроэлектронике
av: Пархутик В. П. Виталий Петрович
Publicerad: (Минск, Наука и техника, 1990)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Publicerad: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Поляризационные измерения
av: Волкова Е. А. Елизавета Алексеевна
Publicerad: (Москва, Изд-во стандартов, 1974)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
av: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicerad: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
Publicerad: (Москва, Наука, 2006)

Ионное легирование в микроэлектронике: учебное пособие для средних профессиональных заведений
av: Грищенко А. Ф. Анатолий Федорович
Publicerad: (Москва, Высшая школа, 1985)

Точностные расчеты в микроэлектронике
av: Шумилин А. С. Анатолий Семенович
Publicerad: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1980)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Publicerad: (Москва, Наука, 2019)

Материаловедение в микроэлектронике
av: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Publicerad: (Москва, Энергия, 1978)

Основы метода эллипсометрии и его использование в исследовании биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
av: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicerad: (2012)

Измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда в тонких пластинах полупроводниковых кристаллов; Приборы и техника эксперимента; № 2
av: Болесов И. А.
Publicerad: (2003)

Отражательная рефрактометрия
Publicerad: (Ленинград, Машиностроение, 1983)

Структурные переходы в кремнии под действием фемтосекундного лазерного импульса: роль электронно-дырочной плазмы и фонон-фононного ангармонизма; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 121, вып. 1
av: Кудряшов С. И.
Publicerad: (2002)

Исследование оптических характеристик биосовместимых покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита методом эллипсометрии; Перспективы развития фундаментальных наук
av: Проскурин А. А.
Publicerad: (2013)

Исследование свойств биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита методом спектральной эллипсометрии; Перспективы развития фундаментальных наук
av: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicerad: (2013)

Использование метода спектральной эллипсометрии в исследовании свойств биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
av: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicerad: (2012)