Эллипсометрия в микроэлектронике

Эллипсометрия в микроэлектронике

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Резвый Р. Р. Ростислав Ростиславович
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Радио и связь, 1983
Matèries:	Эллипсометрия (в микроэлектронике) микроэлектроника применение физические принципы математическая обработка эллипсометрическое измерения эллипсометры пластины поверхности подготовка полупроводниковые слои
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305477

Ítems similars

Количественная хроматография на бумаге и в тонком слое
per: Шеллард Э.
Publicat: (Москва, Мир, 1971)

Эллипсометрия-метод исследования поверхности
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1983)

Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации; Приборы и техника эксперимента; № 2
per: Ковалев В. И.
Publicat: (2003)

Эллипсометрия в физико-химических исследованиях
per: Пшеницын В. И. Владимир Ильич
Publicat: (Ленинград, Химия, 1986)

Эллипсометрия: теория, методы, приложения
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1987)

Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур
per: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1989)

Радиоволновая эллипсометрия
per: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1985)

Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения: сборник научных трудов
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1991)

Лазерная эллипсометрия в технологии электродного производства; Сборник тезисов лауреатов Всероссийского конкурса научно-исследовательских работ студентов и аспирантов в области физических наук в рамках всероссийского фестиваля науки
per: Стрельников П. А.
Publicat: (2011)

Эллипсометрия и поляризованный свет: пер. с англ.
per: Аззам Р.
Publicat: (Москва, Мир, 1981)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
per: Карбань В. И. Валерий Иванович
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1988)

Эллипсометрия. Основы метода
per: Урывский Ю. И. Юрий Иванович
Publicat: (Воронеж, Изд-во ВГУ, 1971)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
per: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1978)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
per: Румак Н. В. Николай Владимирович
Publicat: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
per: Афонский А. А.
Publicat: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Микрометаллургия в микроэлектронике; Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении
per: Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Publicat: (Москва, Металлургия, 1978)

Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
per: Полтавцев Ю. Г. Юрий Гаврилович
Publicat: (Киев, Тэхника, 1990)

Электронные измерения в нанотехнологиях и в микроэлектронике
per: Афонский А. А.
Publicat: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Поверки и исследования теодолитов и нивелиров в полевых условиях
per: Лысов Г. Ф. Герман Федорович
Publicat: (Москва, Недра, 1978)

Современные проблемы эллипсометрии
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1980)

Арсенид галлия в микроэлектронике: пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1988)

Нивелиры. Конструкция, сервис, ремонт, эксплуатация: практическое пособие
per: Захаров А. И. Анатолий Иванович
Publicat: (Москва, Академический проект, 2010)

Микроэлектроника и схемотехника учебник
per: Параскевов А. В.
Publicat: (Краснодар, КубГАУ, 2019)

Термические процессы в микроэлектронике: учебник
per: Моряков О. С. Олег Сергеевич
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1987)

Плазменное анодирование: физика, техника, применение в микроэлектронике
per: Пархутик В. П. Виталий Петрович
Publicat: (Минск, Наука и техника, 1990)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Publicat: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Поляризационные измерения
per: Волкова Е. А. Елизавета Алексеевна
Publicat: (Москва, Изд-во стандартов, 1974)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
per: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicat: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
Publicat: (Москва, Наука, 2006)

Ионное легирование в микроэлектронике: учебное пособие для средних профессиональных заведений
per: Грищенко А. Ф. Анатолий Федорович
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1985)

Точностные расчеты в микроэлектронике
per: Шумилин А. С. Анатолий Семенович
Publicat: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1980)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Publicat: (Москва, Наука, 2019)

Материаловедение в микроэлектронике
per: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Publicat: (Москва, Энергия, 1978)

Основы метода эллипсометрии и его использование в исследовании биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicat: (2012)

Измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда в тонких пластинах полупроводниковых кристаллов; Приборы и техника эксперимента; № 2
per: Болесов И. А.
Publicat: (2003)

Отражательная рефрактометрия
Publicat: (Ленинград, Машиностроение, 1983)

Структурные переходы в кремнии под действием фемтосекундного лазерного импульса: роль электронно-дырочной плазмы и фонон-фононного ангармонизма; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 121, вып. 1
per: Кудряшов С. И.
Publicat: (2002)

Исследование оптических характеристик биосовместимых покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита методом эллипсометрии; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Проскурин А. А.
Publicat: (2013)

Исследование свойств биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита методом спектральной эллипсометрии; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicat: (2013)

Использование метода спектральной эллипсометрии в исследовании свойств биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicat: (2012)