Эллипсометрия в микроэлектронике

Эллипсометрия в микроэлектронике

Bibliographic Details
Main Author:	Резвый Р. Р. Ростислав Ростиславович
Language:	Russian
Published:	Москва, Радио и связь, 1983
Subjects:	Эллипсометрия (в микроэлектронике) микроэлектроника применение физические принципы математическая обработка эллипсометрическое измерения эллипсометры пластины поверхности подготовка полупроводниковые слои
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305477

Similar Items

Количественная хроматография на бумаге и в тонком слое
by: Шеллард Э.
Published: (Москва, Мир, 1971)

Эллипсометрия-метод исследования поверхности
Published: (Новосибирск, Наука, 1983)

Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации; Приборы и техника эксперимента; № 2
by: Ковалев В. И.
Published: (2003)

Эллипсометрия в физико-химических исследованиях
by: Пшеницын В. И. Владимир Ильич
Published: (Ленинград, Химия, 1986)

Эллипсометрия: теория, методы, приложения
Published: (Новосибирск, Наука, 1987)

Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур
by: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Published: (Минск, Наука и техника, 1989)

Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения: сборник научных трудов
Published: (Новосибирск, Наука, 1991)

Радиоволновая эллипсометрия
by: Конев В. А. Владимир Афанасьевич
Published: (Минск, Наука и техника, 1985)

Лазерная эллипсометрия в технологии электродного производства; Сборник тезисов лауреатов Всероссийского конкурса научно-исследовательских работ студентов и аспирантов в области физических наук в рамках всероссийского фестиваля науки
by: Стрельников П. А.
Published: (2011)

Измерения и контроль в микроэлектронике: учебное пособие
Published: (Москва, Высшая школа, 1984)

Эллипсометрия и поляризованный свет: пер. с англ.
by: Аззам Р.
Published: (Москва, Мир, 1981)

Обработка монокристаллов в микроэлектронике
by: Карбань В. И. Валерий Иванович
Published: (Москва, Радио и связь, 1988)

Эллипсометрия. Основы метода
by: Урывский Ю. И. Юрий Иванович
Published: (Воронеж, Изд-во ВГУ, 1971)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
by: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1978)

Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
by: Афонский А. А.
Published: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Микрометаллургия в микроэлектронике; Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении
by: Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Published: (Москва, Металлургия, 1978)

Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
by: Полтавцев Ю. Г. Юрий Гаврилович
Published: (Киев, Тэхника, 1990)

Современные проблемы эллипсометрии
Published: (Новосибирск, Наука, 1980)

Поверки и исследования теодолитов и нивелиров в полевых условиях
by: Лысов Г. Ф. Герман Федорович
Published: (Москва, Недра, 1978)

Электронные измерения в нанотехнологиях и в микроэлектронике
by: Афонский А. А.
Published: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Арсенид галлия в микроэлектронике: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1988)

Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии
Published: (Новосибирск, Наука. Сиб. отд-ние, 1980)

Нивелиры. Конструкция, сервис, ремонт, эксплуатация: практическое пособие
by: Захаров А. И. Анатолий Иванович
Published: (Москва, Академический проект, 2010)

Микроэлектроника и схемотехника учебник
by: Параскевов А. В.
Published: (Краснодар, КубГАУ, 2019)

Термические процессы в микроэлектронике: учебник
by: Моряков О. С. Олег Сергеевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1987)

Плазменное анодирование: физика, техника, применение в микроэлектронике
by: Пархутик В. П. Виталий Петрович
Published: (Минск, Наука и техника, 1990)

Поляризационные измерения
by: Волкова Е. А. Елизавета Алексеевна
Published: (Москва, Изд-во стандартов, 1974)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
Published: (Москва, Наука, 2006)

Ионное легирование в микроэлектронике: учебное пособие для средних профессиональных заведений
by: Грищенко А. Ф. Анатолий Федорович
Published: (Москва, Высшая школа, 1985)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Основы метода эллипсометрии и его использование в исследовании биосовместимых покрытий на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2012)

Точностные расчеты в микроэлектронике
by: Шумилин А. С. Анатолий Семенович
Published: (Ленинград, Изд-во Ленинградского ун-та, 1980)

Материаловедение в микроэлектронике
by: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Published: (Москва, Энергия, 1978)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 2019)

Структурные переходы в кремнии под действием фемтосекундного лазерного импульса: роль электронно-дырочной плазмы и фонон-фононного ангармонизма; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 121, вып. 1
by: Кудряшов С. И.
Published: (2002)

Отражательная рефрактометрия
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1983)

Измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда в тонких пластинах полупроводниковых кристаллов; Приборы и техника эксперимента; № 2
by: Болесов И. А.
Published: (2003)

Исследование оптических характеристик биосовместимых покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита методом эллипсометрии; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Проскурин А. А.
Published: (2013)