Эллипсометрия в микроэлектронике

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Резвый Р. Р. Ростислав Ростиславович
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Радио и связь, 1983
Matèries:	Эллипсометрия (в микроэлектронике) микроэлектроника применение физические принципы математическая обработка эллипсометрическое измерения эллипсометры пластины поверхности подготовка полупроводниковые слои
Format:	MixedMaterials Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=305477

Ítems similars